一、大會名稱

2020中國MEMS制造大會暨微納制造與傳感器展覽會

同期舉辦：中國MEMS創業大賽

二、主辦、承辦單位

主辦單位：中國半導體行業協會MEMS分會

中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所

蘇州納米科技發展有限公司

承辦單位：MEMSRIGHT

江蘇省納米加工公共服務平臺

蘇州市集成微系統封裝平臺

蘇州敏芯微電子技術股份有限公司

三、大會簡介

作為國內唯一的MEMS行業組織，中國半導體行業協會MEMS分會聯合江蘇省納米技術產業創新中心、MEMSRIGHT、中科院納米所微納加工平臺與集成微系統封裝平臺、敏芯微電子等國內外MEMS代工廠、平臺與機構等，在蘇州舉辦China MEMS中國MEMS制造大會，旨在匯聚全球MEMS制造產業資源，打造MEMS領域品牌會議，加強MEMS設計、研發、加工制造、封裝測試等全產業鏈聯動關系，促進以MEMS制造為主線的產業資源垂直整合，推動我國MEMS產業領域的人才集聚、技術創新、成果轉化，加速突破我國MEMS制造領域發展瓶頸。

四、大會主題

MEMS全球市場與產業鏈布局

MEMS全球晶圓代工產業格局與發展趨勢

MEMS先進晶圓封裝測試市場發展方向

MEMS在智能終端的應用前景與發展方向

五、往屆回顧

China MEMS 2019共計有220+付費參會人員，來自中芯集成電路制造（紹興）、Silex、中科院納米所納米加工平臺、華潤微電子、中電55所、阿里巴巴、歌爾聲學、瑞聲等30+行業專家分享最新成果，同期展覽面積18000平。

六、本屆亮點

聚集全球MEMS制造產業鏈

匯聚silex、SMEC、Bosch、MEMSRIGHT、華潤微電子、士蘭微、天水華天、蘇州晶方、中國電子55所等全球一流MEMS制造企業

“中國MEMS創業大賽”首次舉辦

2個權威獎項，以公平、公開、公正為原則進行評選。聚集明星企業，最新科技的項目。20家入圍企業集體參展。

“MEMS制造聯盟”正式成立

50+MEMS制造領域的科研機構聯合成立，著手解決行業痛點，攜手共同發展

“MEMS之夜”群英薈萃

40家MEMS產業鏈高層共聚金雞湖畔，共同探討產業發展

《MEMS制造白皮書》發布

報告由中國半導體行業協會MEMS分會聯合賽迪共同發布，精準解讀行業，把握行業發展趨勢

七、展覽范圍

MEMS 器件

?光學MEMS；射頻MEMS ；MEMS物理傳感器 (加速傳感器，速率傳感器，壓力傳感器，氣體傳感器，溫度傳感器)；微 射流（微流引導，微感應器等）；MEMS執行器；MEMS電能（燃料電池，微發電機等）；高復合型MEMS (CMOS/MEMS, LSI/MEMS 一體化)。

MEMS 代工服務

?仿真設計、原型測試、產品開發、量產；其他代工服務：圖案形成、薄膜形成、雷射、離子脈沖加工、噴鍍。

MEMS 應用

超微型機械人裝置、微型工廠等；傳感器網絡；能量收集。

MEMS 加工設備

?薄膜成形（汽相淀積、濺射、CVD、覆鍍；曝光系統、蝕刻技術；防腐處理；刻蝕；晶圓鍵合；切割；芯片/導線焊接；封裝；微成形 (注射, 熱壓)；其他生產設備 。

分析與檢測儀器

光罩缺陷檢測、封裝檢測、表面分析儀器、粗糙度儀、掃描電子顯微鏡、薄膜厚度測量系統；顯微鏡：光學顯微鏡、電子顯微鏡、探針顯微鏡、電子能譜儀；檢漏儀器、靜電負離子空氣凈化機；氣體分析及檢測、分析和測量系統。

納米機械微制程技術

超精度納米機械工藝；超精密加工, 微制造；表面微加工；精細鉆孔；微觀切割；雷射、離子脈沖加工；聚焦離子束系統；微放電加工；超聲波設備等。

納米壓印技術

微納米模型；納米壓印生產設備。

生物技術與醫療應用

MEMS 在醫療處理及診斷方面的應用、DDS、納米膠囊；尖端DNA & RNA 技術、微反應器、微流引導、生物/化學MEMS（DNA/RNA技術，化學檢測）等。

費用收取

“中國MEMS制造大會”注冊費用

（1）注冊費用包含：會議期間的午餐與茶歇、會議資料、紀念品。

（2）晚餐和住宿費用自理。

展覽收費標準（提前預定展位享受會員價格，詳情請致電組委會）：

（1）標準展位：展位三面展板、一張咨詢桌、兩把折椅、兩支射燈、中英文楣板、一個220V電源、地毯。

（2）光地：參展商自己負責展位的設計、搭建、用電設備等及由此產生的費用。