一、大會名稱

2021中國MEMS制造大會暨微納制造與傳感器展覽會

同期舉辦：第二屆中國MEMS創新創業大賽

二、主辦、承辦單位

指導單位：

中國半導體行業協會?

中國半導體行業協會MEMS分會

主辦單位：

中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所

蘇州納米科技發展有限公司

承辦單位：

MEMSRIGHT

江蘇省納米加工公共服務平臺

蘇州市集成微系統封裝平臺

蘇州敏芯微電子技術股份有限公司

三、大會簡介

在中國半導體行業協會和中國半導體行業協會MEMS分會的共同指導下，蘇州納米科技發展有限公司聯合江蘇省納米技術產業創新中心、MEMSRIGHT、中科院納米所微納加工平臺與集成微系統封裝平臺、敏芯微電子等國內外MEMS代工廠、平臺與機構等，在蘇州定期舉辦China?MEMS中國MEMS制造大會，旨在匯聚全球MEMS制造產業資源，打造MEMS領域品牌會議，加強MEMS設計、研發、加工制造、封裝測試等全產業鏈聯動關系，促進以MEMS制造為主線的產業資源垂直整合，推動我國MEMS產業領域的人才集聚、技術創新、成果轉化，加速突破我國MEMS制造領域發展瓶頸。??

2021年第三屆中國MEMS制造大會將在2020基礎上推陳出新、力求突破，擬安排為：

（一）?首次設置分論壇、加強會議專業性

MEMS射頻器件、紅外傳感器成為近年來迅速發展的明星產品。為促成這兩個重點細分領域前沿技術和市場前景交流、精準促進該領域發展，2021中國MEMS制造大會將首次開設“中國MEMS制造大會射頻分會場”、“中國MEMS制造大會顯示分會場”。兩場分會場擬設置在10月29日9：00-17:30。

射頻分會場擬邀單位為：?Broadcom、瑞聲科技、河北美泰、中電13所、中電55所、漢天下、時代民芯、希美微納、左藍微電子等。

顯示分會場擬邀單位為：紅外傳感器廠家煙臺睿創、武漢高德紅外、浙江大立、上海巨哥，紅外傳感器代工廠華潤上華；微鏡廠家：TI、MicroVision、無錫微奧等。

（二）會議氛圍再活躍、嘉賓質量再提升、會議規模再擴大

2021中國MEMS制造大會將繼續提升大會整體質量，將持續邀請行業一流企業事業單位進行演講。2019大會邀請SMEC副總裁劉煊杰，2020大會邀請中科院院士鄭泉水、華登國際合伙人王林等，均成為大會亮點。2021大會將繼續聯絡中國乃至世界MEMS產業專家前來演講分享，新增擬邀演講單位為：臺積電、APM、X-FAB、Yole、TI、ST、Broadcom、高德紅外、浙江大立、長電科技等。

因新設兩個分論壇，2021大會嘉賓數量將突破40人。2021中國MEMS制造大會將繼續保持MEMS行業最大規模、最高水平的會議規格。

四、大會主題

（一）MEMS全球市場與產業鏈布局?

（二）MEMS全球晶圓代工產業格局和發展趨勢?

（三）MEMS先進晶圓封裝測試市場發展方向?

（四）MEMS在智能終端的應用前景與發展方向?

（五）MEMS射頻、顯示器件的技術和市場狀況?

（六）MEMS激光雷達器件工藝與市場狀況?

（七）MEMS?3D顯示器件工藝與市場狀況?

（八）MEMS紅外成像技術與應用?

（九）MEMS新材料技術與工藝

五、往屆回顧

China MEMS 2020 中國MEMS制造大會演講嘉賓35人，嘉賓來自SMEC、Selix、中科院、華潤微、Bosch、愛發科、中電55所、賽迪顧問、罕王微電子等行業重點企業，現場參會觀眾達480多人。?

同期，蘇州納米科技發展有限公司首次舉辦2020中國MEMS創業大賽，21家入圍企業進行了現場路演，現場觀眾達200多人。

大賽評選出“中國MEMS產業最具投資價值獎”一二三等獎、“中國MEMS產業創新產品獎”一二三等獎，鼓勵優秀企業、產品脫穎而出。

六、本屆亮點

（一）匯聚全球MEMS制造全產業鏈 ，silex、SMEC、Bosch、MEMSRIGHT、華潤微電子、士蘭微、天水華天、蘇州晶方、中國電子55所等全球一流MEMS制造企業

（二）“中國MEMS創新創業大賽”第二屆舉辦（突出產品創新、設計創新、理念創新等特點）

（三）新增設MEMS制造分論壇（兩場分論壇的增加突顯大會緊跟MEMS制造發展方向。欲通過大會增加同行業內交流，描繪下一年走向趨勢）?

七、展覽范圍

MEMS 器件

?光學MEMS；射頻MEMS ；MEMS物理傳感器 (加速傳感器，速率傳感器，壓力傳感器，氣體傳感器，溫度傳感器)；微 射流（微流引導，微感應器等）；MEMS執行器；MEMS電能（燃料電池，微發電機等）；高復合型MEMS (CMOS/MEMS, LSI/MEMS 一體化)。

MEMS 代工服務

?仿真設計、原型測試、產品開發、量產；其他代工服務：圖案形成、薄膜形成、雷射、離子脈沖加工、噴鍍。

MEMS 應用

超微型機械人裝置、微型工廠等；傳感器網絡；能量收集。

MEMS 加工設備

?薄膜成形（汽相淀積、濺射、CVD、覆鍍；曝光系統、蝕刻技術；防腐處理；刻蝕；晶圓鍵合；切割；芯片/導線焊接；封裝；微成形 (注射, 熱壓)；其他生產設備 。

分析與檢測儀器

光罩缺陷檢測、封裝檢測、表面分析儀器、粗糙度儀、掃描電子顯微鏡、薄膜厚度測量系統；顯微鏡：光學顯微鏡、電子顯微鏡、探針顯微鏡、電子能譜儀；檢漏儀器、靜電負離子空氣凈化機；氣體分析及檢測、分析和測量系統。

納米機械微制程技術

超精度納米機械工藝；超精密加工, 微制造；表面微加工；精細鉆孔；微觀切割；雷射、離子脈沖加工；聚焦離子束系統；微放電加工；超聲波設備等。

納米壓印技術

微納米模型；納米壓印生產設備。

生物技術與醫療應用

MEMS 在醫療處理及診斷方面的應用、DDS、納米膠囊；尖端DNA & RNA 技術、微反應器、微流引導、生物/化學MEMS（DNA/RNA技術，化學檢測）等。